一、聚氨酯滾筒印刷的分析

　　刻蝕后或El圖中與刻蝕滾輪位置一致的標(biāo)記稱(chēng)為滾輪痕，主要是由于滾輪異常造成的。先附著在滾輪表面的污染物污染硅片;二，滾筒上有毛刺，導(dǎo)致滾筒硅片表面有劃痕。

　　二、滾筒印花的典型形態(tài)特征

　　如果是通過(guò)滾筒摩擦，則不可能進(jìn)行滾筒打印，但蝕刻滾筒在180度反轉(zhuǎn)時(shí)與硅片發(fā)生滑動(dòng)摩擦，可根據(jù)滾筒打印是否間歇進(jìn)行鎖定。

　　整個(gè)表面存在問(wèn)題，可以通過(guò)滾輪結(jié)構(gòu)來(lái)判斷。因?yàn)槠渌麧L柱是線(xiàn)性接觸的，所以它們可以通過(guò)表面接觸的滾柱鎖定。

　　三、聚氨酯滾筒打印圖像分析

　　(1)蝕刻槽滾筒印刷

　　1.原因

　　硅片離開(kāi)刻蝕槽擋板后，刻蝕表面仍有少量刻蝕液。在進(jìn)入水箱之前，蝕刻表面仍在發(fā)生輕微的化學(xué)反應(yīng)。由于步進(jìn)滾輪與硅片之間有四個(gè)接觸面，因此四個(gè)接觸面反應(yīng)程度不同于其他地方，會(huì)產(chǎn)生滾輪痕。

　　關(guān)于步進(jìn)滾輪：在隨后的堿洗、酸洗和純水清洗后會(huì)部分消除，但由于步進(jìn)滾輪的廣泛使用，后續(xù)的堿洗和酸洗不會(huì)消除。它需要盡可能少地使用，并且放錯(cuò)地方。

　　注意：這種情況特別罕見(jiàn)，但確實(shí)有相關(guān)影響。

　　2.可行措施

　　A.更換細(xì)齒滾柱：開(kāi)槽前和開(kāi)槽后可安裝4-5個(gè)螺紋滾柱，或開(kāi)槽后可更換所有螺紋滾柱;

　　B.步進(jìn)滾輪造成的滾輪印可以?xún)?yōu)化配方，增加每次清洗的循環(huán)次數(shù)，并將新水流量控制在12L/min，滾輪與工藝需要匹配;

　　C.對(duì)于刻蝕槽后階梯滾輪引起的滾輪印，在相同參數(shù)下，低速時(shí)的去除效果明顯優(yōu)于高速時(shí)的去除效果。后清潔完全能夠移除。高速運(yùn)行時(shí)，可以對(duì)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，但參數(shù)存在局限性�？赏ㄟ^(guò)更換滾輪來(lái)調(diào)整工藝參數(shù)。

　　D.蝕刻槽的低循環(huán)流量導(dǎo)致硅片離開(kāi)蝕刻槽時(shí)，后蝕刻槽的液位擋壁過(guò)高，導(dǎo)致蝕刻液緩慢溢出。一般來(lái)說(shuō)，蝕刻槽后擋土墻的高度可以略低于前擋土墻，以便蝕刻液盡可能從后擋土墻中溢出。循環(huán)流量過(guò)低也會(huì)影響溢流。

　　3.干燥槽滾輪印

　　A.不合理的配方優(yōu)化導(dǎo)致干燥前疏水性差，進(jìn)一步導(dǎo)致擠壓滾輪無(wú)法有效去除殘留水分，硅片中更多殘留水分進(jìn)入干燥段;

　　B干燥段溫度、風(fēng)量設(shè)置低;

　　C設(shè)備調(diào)試不好，經(jīng)常堵塞層壓，導(dǎo)致硅片攜帶藥液進(jìn)入干燥區(qū);

　　D滾輪變形，或滾輪表面有缺陷和毛刺。

　　2.可行措施

　　A.檢查沖洗液3的擠水效果。新水流量可適當(dāng)增加，以確保每次水洗后具有良好的疏水性。壓水滾輪能有效去除硅片上的殘留物;

　　B.調(diào)整干燥槽風(fēng)量為190-200l/min，溫度為59-60℃(這兩個(gè)因素會(huì)影響皮帶打印和滾筒打印);

　　C.檢查并更換有問(wèn)題的滾筒;

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